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과제번호 S3142282
과제명 3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략)
공고명 2021년 중소기업기술혁신개발사업 소부장전략 과제 2차 시행계획 공고
세부공고명 2021년 중소기업기술혁신개발사업 소부장전략 과제 2차 시행계획 공고
주관기관명 (주)에이티에스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 570,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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