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과제번호 S3105307
과제명 진공용 AF 분사장치를 활용한 광학 코팅 공정 및 장치 개발
사업명 산연협력(사업화 R&D)
공고명 2021년도 산연 Collabo R&D사업(사업화R&D) 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 산연 Collabo R&D사업(사업화R&D) 시행계획 공고
주관기관명 (주)유니벡
관리기관명 경남지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 259,200,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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