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과제번호 S2869573
과제명 반도체용 12인치 정전척 (ESC) 히터 국산화 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제1차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장대응형 과제' 제1차 시행계획 수정공고
주관기관명 아이앤피
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 400,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 금속재료 >> 기계/전자부품소재기술
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