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| 과제번호 | S2844957 |
|---|---|
| 과제명 | 하이브리드·자동화 웨이퍼 박막 두께 광측정 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2020년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(1차) |
| 세부공고명 | 2020년 R&D기획지원사업(1차)_강소 100 패키지 |
| 주관기관명 | 에이티아이(주) |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 25,500,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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