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과제번호 S2718837
과제명 수·산소 용사 코팅 장치 개발 및 이를 이용한 Y-O-F계 내플라즈마 코팅 피막 소재 개발
사업명 산학연 Collabo R&D
공고명 2019년도 산학연 Collabo R&D 사업 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 산연 Collabo R&D 사업 시행계획 공고
과제상태 과제진행중
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 용사기술
개발목표

- 비커스 경도 > 400kgf/mm2, void율 < 2%, 플라즈마 침식 < 2μm/hr, 피착재와의 밀착성(계면에서 박리 없어야 함), 직경 300mm wafer상에 검출된 particle 수?1개의 특성을 만족하는 xmole%YOF-(100-x)mole%Y5O4F7 (10?x?90)의 고용체 코팅피막(두께 250μm) 개발

- 용사용 고효율 수산소 발생기 제작( 고내구성, 역화 방지율 95% 이상, 10m3/h, 효율 75% 이상)

- 용사용 고효율 플라즈마 전원 제작(이송식/비이송식 겸용, 50kW 급, 효율 80%)

- 용사용 수산소/플라즈마 토치 개발( 수산소 및 플라즈마 복합 토치, sus 및 세라믹 소재 코팅)

- 수산소/플라즈마 용사시스템 전체 시작품제작 및 최적화(효율 75% 이상, 100kW급)

내용

? xmole%YOF-(100-x)mole%Y5O4F7 (10?x?90)의 고용체 과립 분말(직경 20~30μm) 합성

- YOF-Y5O4F7계 고용체 코팅 피막 중 YOF-Y5O4F7계 결정상 외에 타결정상(Y2O3등)은 형성되지 않는 고용체 조성 파악

- 플라즈마-화석연료 용사법으로 형성된 코팅 피막과 특성 비교(비커스 경도, void율, 피착재와의 밀착성, 미세조직 결정상)

- 수·산소/플라즈마 용사 장치 기본

- 수·산소 토치 화염 기초 

- 수·산소/플라즈마 복합 토치 기초 장치 

- 수·산소/플라즈마 복합 화염 소형 기초 실험

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