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과제번호 S2366423
과제명 1m 길이를 갖는 레이저 라인빔을 이용한 5um급 고해상도 스캔 얼라이너 개발
사업명 WC300 R&D
공고명 2014 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 안내
세부공고명 2014 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 안내
주관기관명 (주)필옵틱스
관리기관명 한국산업기술진흥원
전문기관명 한국산업기술진흥원
정부출연금 1,030,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 광응용기기 >> 레이저 가공기
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