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과제번호 S2321663
과제명 10nm급 고해상도 열특성 분석을 위한 고진공 주사탐침열현미경 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제(2차)’ 시행계획 공고
주관기관명 프로브스
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 175,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 초소형 가공 조립 측정기술
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