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과제번호 S2289221
과제명 ArF 포토레지스트용 신규 술포늄 염 개발
사업명 중소기업R&D기획지원사업
공고명 2015년도 중소기업 R&D기획역량 제고」시행계획 통합 공고
세부공고명 혁신과제(1차)
주관기관명 로움하이텍주식회사
관리기관명 중소기업기술정보진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 21,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 화학 >> 정밀화학 >> 감광재료
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