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과제번호 S2264402
과제명 반도체 공정적용 AlN 히터의 표면처리 및 접합기술 개발에따른 히터 수명연장 기술 및 AlN 히터 재활용 기술개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고
주관기관명 (주)씨엠코리아
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 199,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 전자부품 표면처리기술
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