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과제번호 S2132247
과제명 8세대급 수직형 WOLED TFT 제조공정장비를 위한 PARTICLE FREE 고 성능의 대구경 고 진공 개폐도어장치 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2013년도 중소기업 기술혁신개발사업 혁신기업기술개발 시행계획 하반기 공고
세부공고명 2013년도 중소기업 기술혁신개발사업 혁신기업기술개발 시행계획 하반기 공고
주관기관명 (주)ATS엔지니어링
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 360,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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