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과제번호 S2070378
과제명 10 μm 급 고해상도 대면적 노광기 개발
사업명 창업성장-첫걸음기업지원사업
공고명 2012년 건강진단연계형 중소기업 첫걸음 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2012년 건강진단연계형 중소기업 첫걸음 기술개발사업 시행계획 공고
주관기관명 금창이앤아이
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 97,407,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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