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과제번호 S2058702
과제명 차세대 소자용 증착소재 양산 합성 장치 및 품질관리 측정시스템 개발
사업명 중소기업융복합기술개발사업
공고명 2012년 출연연·중소기업 공동기술개발사업 지원계획 공고
세부공고명 출연연-융복합기술개발사업 지원계획 공고
주관기관명 한국표준과학연구원
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 486,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료
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