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과제번호 S1064845
과제명 반도체용 차세대 High-k 물질인 BST 박막 증착을 위한 Ti 선구물질의 물성 향상 연구
사업명 창업보육기술개발사업
공고명 2009년도 중소기업기술개발지원사업 지원계획 통합공고 (2차)
세부공고명 실용과제
주관기관명 비엔아이테크
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 98,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 화학 >> 정밀화학 >> 전자산업용 정밀화학소재
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