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창닫기과제번호 | S1037359 |
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과제명 | 반도체 공정장비용 초정밀 위치제어 내환경성 Linear Motion Unit 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제) |
세부공고명 | 기술수요조사과제-핵심유망기술(300개) |
주관기관명 | (주)트리엔 |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
정부출연금 | 298,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 로봇/자동화기계 >> 조립/정밀 이송기술 |