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과제번호 S1037284
과제명 SCARA 구조의 Wafer Transfer Robot 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제)
세부공고명 기술수요조사과제-기술로드맵(200개)
주관기관명 로봇앤드디자인
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 498,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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