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과제번호 S0085151
과제명 3d대기압 방전소스를 이용한반도체패키징용 국부 세정장비 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2004년도 중소기업기술혁신개발사업 중 전략과제 지원계획 공고
세부공고명 차세대 성장동력 산업 등 수요조사 과제
주관기관명 (주)피에스엠
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 95,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 에너지/환경 기계시스템 >> 에너지/환경 기계 시스템 관련 S/W
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