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과제번호 S0080768
과제명 반도체 제조를 위한 고성능 CMP 패드 컨디셔너의 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2004년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고
세부공고명 일반과제
주관기관명 경인다이아몬드
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 70,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 도금기술
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