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| 과제번호 | C0448318 |
|---|---|
| 과제명 | 고속/고밀도 박막 증착을 위한 저온/저압 환경 화학기상증착장비 핵심 부품 개발 및 공정 개발 |
| 사업명 | 산연전용과제 |
| 공고명 | 2016년 산학연협력 기술개발사업(산연전용(긴급R&D)) 시행계획공고 |
| 세부공고명 | 2016년 산학연협력 기술개발사업(산연전용(긴급R&D)) 시행계획 공고_2차 |
| 주관기관명 | 한국생산기술연구원 |
| 관리기관명 | 한국산학연협회 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 101,600,000 |
| 과제상태 | 실패 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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