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과제번호 C0298676
과제명 복합소재 기반의 에어베어링 일체형 나노급 모션 시스템 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-주관기관(단독)
세부공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(자율편성형) 도약R&D-주관기관(단독과제)
주관기관명 국립한밭대학교산학협력단
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 84,303,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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