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과제번호 C0278587
과제명 세라믹 이중접합 구조의 고온 공정용 BAKE UNIT 장치 개발
사업명 첫걸음기술개발사업
공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 첫걸음R&D 시행 공고
세부공고명 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반 첫걸음-동일지역) 1차
주관기관명 한국에너지기술연구원
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 51,074,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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