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과제번호 C0145998
과제명 장비 진동 억제 기술을 이용한 반도체용 기판 연마장비 국산화 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2013년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2013년 도약기술개발사업(8)
주관기관명 금오공과대학교산학협력단
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 63,750,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 연삭/연마 가공기계
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