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과제번호 C0139192
과제명 공정 플라즈마 방출광원을 이용한 실시간 두께측정 및 공정제어 기술 개발
사업명 첫걸음기술개발사업
공고명 2013년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2013년 첫걸음기술개발사업(6)
주관기관명 광운대학교산학협력단
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 64,286,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 측정 및 검사장비
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