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과제번호 S3301062
과제명 I-Motion 구조를 적용한 반도체 공정용 고내구성, 고정밀성 슬릿 밸브 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업(구매연계형)
공고명 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고
주관기관명 (주)사이언스프로버
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 410,973,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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