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과제번호 S3255161
과제명 AIoT 제어모듈을 포함한 복합체(CNT + CF) 기반의 반도체 공정배관向 스마트 발열시스템 개발 (≥200℃ 온도제어 및 균일성, 시공 용이성을 포함한 생산성 확보)
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
주관기관명 주식회사핫앤쿨
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 487,155,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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