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과제번호 S1016851
과제명 Laser 간섭계를 적용한 고정도 나노급 Stage system 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2007년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제)
세부공고명 수요조사 발굴과제
주관기관명 순환엔지니어링(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 300,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W
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