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창닫기과제번호 | S2658856 |
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과제명 | 플라즈마 세정장치가 결합된 초저온 현미경 Holder용 Dry Pumping Station 개발 |
사업명 | 첫걸음기술개발사업(포인트) |
공고명 | 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음협력) 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음) 2차 |
주관기관명 | (주)와이엔디케이 |
관리기관명 | 대전충남지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 51,959,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |