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| 과제번호 | S3272331 |
|---|---|
| 과제명 | 10 nm 급 이하 차세대 반도체 제조를 위한 낮은 분자량(Mw)을 특징으로 하는 고평탄화 및 내식각성 거대단분자 하드마스크 소재 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | DCT 머티리얼 |
| 관리기관명 | 충북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 499,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 정밀화학 >> 감광재료 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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