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| 과제번호 | S1025258 |
|---|---|
| 과제명 | 구조 및 물성, 표면, 계면분석 장비를 기반으로 하는 반도체 게이트전극용 극미세 결정립 폴리실리콘 챔버 개발 |
| 사업명 | 첨단장비 활용 기술개발사업 |
| 공고명 | 2007년도 상반기 선도형 기술혁신 전략과제 지원사업 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 첨단연구장비 활용과제 |
| 주관기관명 | (주)유진테크 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 342,252,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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