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과제번호 S1024231
과제명 고진공 터보펌프의 초고속 전동기 제어장치 개발
사업명 중소기업이전기술개발사업
공고명 2007년도 상반기 중소기업 상용화기술개발사업 시행계획 공고 (구매조건부)
세부공고명 이전기술
주관기관명 (주)이이시스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 71,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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