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| 과제번호 | S3382986 |
|---|---|
| 과제명 | 패턴 웨이퍼 50um 테스트 키 영역 USJ(Ultra Shallow Junction) 박막 품질 측정을 위한 마이크로 4point probe 전자동 RS측정 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
| 공고명 | 2023년도 중소기업기술혁신개발사업 `시장확대형(후불형과제)` 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2023년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장확대형(후불형과제)' 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 주식회사 코비스테크놀로지 |
| 관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 560,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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