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| 과제번호 | S3403545 |
|---|---|
| 과제명 | 3nm 초미세공정의 초극청정 반도체 제조환경 대응 가능한 5N급 실란계 가스 고순도화 기술개발 |
| 사업명 | 지역주력산업육성 |
| 공고명 | 2024년 지역특화산업육성+(R&D)-지역주력산업육성 지원계획 통합공고 |
| 세부공고명 | (지역혁신 선도기업) 2024년 지역특화산업육성+(R&D) 지원계획 통합공고 |
| 주관기관명 | (주)엠에스머트리얼즈 |
| 관리기관명 | (재)충남지역산업진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 0 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 화학공정 >> 기타 화학공정 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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