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과제번호 S3376766
과제명 별도의 댐퍼 없이 펌프 자체에서 맥동을 최소화한 반도체 wet 공정용 통합형 벨로우즈 펌프 국산화 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업(구매연계형)
공고명 2023년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고_국내수요처
세부공고명 2023년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고_국내수요처
주관기관명 (주)에버메이트
관리기관명 중소기업기술정보진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 363,550,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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