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과제번호 S2892519
과제명 디스플레이 고도화에 따른 1um 이하급 파티클 제거를 위한 Hybrid module 건식 세정시스템 개발
사업명 산연협력(예비연구)
공고명 2020년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
세부공고명 2020년도 산연 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
주관기관명 씨티에스(주)
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,600,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 기타 정밀생산기계 관련기술 
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