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| 과제번호 | S3288073 |
|---|---|
| 과제명 | 300mm 웨이퍼용 240℃ 초고온 Single SPM(Sulfuric acid Peroxide Mixture) 세정 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 하반기 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 하반기 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 에이펫(주) |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 480,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 전자부품 표면처리기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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