기술분야별 지원과제 검색
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과제번호 C0534365
과제명 반도체 CMP공정 슬러리 분쇄·분산·혼합 통합공정장비의 성능 향상을 위한 로터의 최적 설계
사업명 맞춤형 기술파트너 지원사업
공고명 2017년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 공고
세부공고명 (4차) 2017년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 과제 신청접수
주관기관명 국립창원대학교산학협력단
관리기관명 중소기업기술정보진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 20,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 
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