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과제번호 S3364261
과제명 극자외선 노광장비용 EUV펠리클 프레임 개발
사업명 지역주력산업육성
공고명 2023년 지역특화산업육성+(R&D)-지역주력산업육성 지원계획 통합공고
세부공고명 (자유공모) 2023년 지역특화산업육성+(R&D) 지원계획 통합공고
주관기관명 루미너스
관리기관명 (재)충북지역산업진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 400,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자
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