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과제번호 S0071220
과제명 반도체용 고순도 Liq. Gas 정제 기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고
세부공고명 일반과제
주관기관명 원익홀딩스
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 74,900,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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