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| 과제번호 | S2457471 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 칩 제조 공정 중 작업자에게 유해한 유기물 노출 양을 최소화하는 고속형 웨이퍼 이송 시스템 |
| 사업명 | 혁신형기술개발사업 |
| 공고명 | 2017년 혁신기술개발사업 R&D 연계지원 과제(1차) 등록 공고 |
| 세부공고명 | 2017년 혁신기술개발사업 R&D 연계지원 과제(1차) 등록 공고 |
| 주관기관명 | 주식회사 피에스디이 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 500,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 로봇/자동화기계 >> 기계 자동화 기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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