기술분야별 지원과제 검색
기술분야별검색 내용
과제번호 S3289449
과제명 Micro OLED 봉지막용 300mm급 고생산성 배치형 ALD 증착 장비 개발
사업명 컨소시엄형기술개발지원프로그램
공고명 2022년도 컨소시엄형기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략)(22년 컨소시엄형R&D 선정기업 대상)
주관기관명 씨엔원
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 499,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
재검색 목록보기