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창닫기과제번호 | S3452437 |
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과제명 | 반도체?디스플레이 박막 증착용 기화기의 피이-테오스(PE-TEOS) 개발 |
사업명 | 지역기업 역량강화 |
공고명 | 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화 지원계획 공고 |
세부공고명 | 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화 |
주관기관명 | 주식회사 바론 |
관리기관명 | (재)충남지역산업진흥원 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 280,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |