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창닫기과제번호 | S3451647 |
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과제명 | 초미세 반도체 세정 및 불순물 처리용 초순수 배관의 불소수지(ETFE) 기반 부품 국산화 개발 |
사업명 | 지역기업 역량강화 |
공고명 | 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화 지원계획 공고 |
세부공고명 | 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화 |
주관기관명 | 비케이엠(주) |
관리기관명 | (재)충북테크노파크 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 280,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |