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과제번호 S3451647
과제명 초미세 반도체 세정 및 불순물 처리용 초순수 배관의 불소수지(ETFE) 기반 부품 국산화 개발
사업명 지역기업 역량강화
공고명 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화 지원계획 공고
세부공고명 2025년 지역혁신선도기업육성(R&D)-지역기업 역량강화
주관기관명 비케이엠(주)
관리기관명 (재)충북테크노파크
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 280,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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