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과제번호 S2160985
과제명 반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2014년 혁신기업기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고
세부공고명 2014년 혁신기업기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고
주관기관명 (주)윌비에스엔티
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 460,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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