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창닫기과제번호 | S2160985 |
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과제명 | 반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
공고명 | 2014년 혁신기업기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고 |
세부공고명 | 2014년 혁신기업기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고 |
주관기관명 | (주)윌비에스엔티 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
정부출연금 | 460,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |