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과제번호 S3382368
과제명 차세대(10nm 급) 3D 적층 반도체 제조 공정용 Ladle 형 Heater 제조 기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2023년도 중소기업기술혁신개발사업 `시장확대형(후불형과제)` 시행계획 공고
세부공고명 2023년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장확대형(후불형과제)' 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 조양
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 560,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 요소부품 >> 기타 요소부품
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