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| 과제번호 | C0546963 |
|---|---|
| 과제명 | STI 공정용 고성능 선택비 구현과 세정성이 우수한 이액형의 고순도 CMP 슬러리와 첨가제의 개발 및 상용화 |
| 사업명 | 연구마을 지원사업 |
| 공고명 | 2017년도 산학연협력 기술개발사업(연구마을) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 연구마을 추가3차 |
| 주관기관명 | (주)엠에스머트리얼즈 |
| 관리기관명 | 한국산학연협회 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 100,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 고분자재료 >> 나노소재기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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