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과제번호 S2342061
과제명 반도체 웨이퍼와 세포 조직 정밀 측정을 위한 NA=0.95, 광학배율 1,000배 대물렌즈, 평면 분해능 125nm, 수직 분해능 1nm를 구현한 산업/바이오 현미경 기술 개발
사업명 WC300 R&D
공고명 (단계보고서 접수)WC300 단계보고서 및 차단계 사업계획서 접수
세부공고명 WC300 단계보고서 및 차단계 사업계획서 접수
주관기관명 (주)휴비츠
관리기관명 한국산업기술진흥원
전문기관명 한국산업기술진흥원
정부출연금 1,246,000,000
과제상태 실패
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 산업/일반기계 >> 기타 산업/일반기계 관련기술
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