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창닫기과제번호 | S2342061 |
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과제명 | 반도체 웨이퍼와 세포 조직 정밀 측정을 위한 NA=0.95, 광학배율 1,000배 대물렌즈, 평면 분해능 125nm, 수직 분해능 1nm를 구현한 산업/바이오 현미경 기술 개발 |
사업명 | WC300 R&D |
공고명 | (단계보고서 접수)WC300 단계보고서 및 차단계 사업계획서 접수 |
세부공고명 | WC300 단계보고서 및 차단계 사업계획서 접수 |
주관기관명 | (주)휴비츠 |
관리기관명 | 한국산업기술진흥원 |
전문기관명 | 한국산업기술진흥원 |
정부출연금 | 1,246,000,000 |
과제상태 | 실패 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 산업/일반기계 >> 기타 산업/일반기계 관련기술 |