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과제번호 S0070806
과제명 반도체 메모리 적용을 위한 6inch PZT sputtering target 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고
세부공고명 일반과제
주관기관명 (주)오토텍
관리기관명 부산지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 50,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 기타 반도체 소자
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