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과제번호 C0412984
과제명 Sub-micron 급 PIEZO Align 기술 개발 및 지원을 통한 DMD Beam 투과 직접묘화 결상광학계 개선
사업명 이공계전문가기술개발서포터즈사업
공고명 2016년도 이공계전문가 기술개발 서포터즈사업
세부공고명 2016년 이공계전문가 기술개발 서포터즈사업 전담과제
주관기관명 대학산업기술지원단
관리기관명 한국산학연협회
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 29,180,000
과제상태 성공
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 로봇/자동화기계 >> 조립/정밀 이송기술
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