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창닫기과제번호 | C0412984 |
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과제명 | Sub-micron 급 PIEZO Align 기술 개발 및 지원을 통한 DMD Beam 투과 직접묘화 결상광학계 개선 |
사업명 | 이공계전문가기술개발서포터즈사업 |
공고명 | 2016년도 이공계전문가 기술개발 서포터즈사업 |
세부공고명 | 2016년 이공계전문가 기술개발 서포터즈사업 전담과제 |
주관기관명 | 대학산업기술지원단 |
관리기관명 | 한국산학연협회 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 29,180,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 로봇/자동화기계 >> 조립/정밀 이송기술 |