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| 과제번호 | S2713129 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 Etching 공정용 Non-particle Si+RB-SiC & Si+CVD-SiC 10nm급 이체형 Gas Shower Plate 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
| 공고명 | 2019년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처(민간공공기관) 1차 자유응모 접수 수정공고 |
| 세부공고명 | 2019년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처(민간공공기관) 1자 자유응모 접수공고 |
| 주관기관명 | (주)월덱스 |
| 관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 500,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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