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과제번호 S2655795
과제명 열전소자(펠티에소자)를 이용한 반도체 Test용 자동 온도 제어 모듈(ATC Module)개발
사업명 첫걸음기술개발사업(포인트)
공고명 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음협력) 시행계획 공고
세부공고명 2018년 산학연협력 기술개발사업(첫걸음) 2차
주관기관명 와이엠티
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 54,421,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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