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과제번호 S2825750
과제명 반도체용 웨이퍼 국산화를 위한 고품질 재생웨이퍼 제조기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
주관기관명 (주)제이쓰리
관리기관명 대전충남지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 청정생산 >> 공정개선기술
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